Plasmaetteri on laite, joka käyttää plasmaa puolijohdepiirien tarvitsemien piirireittien luomiseen. Plasmaetcher tekee tämän lähettämällä tarkasti suunnatun plasmasuihkun piikiekon päälle. Kun plasma ja kiekko joutuvat kosketuksiin toistensa kanssa, kiekon pinnalla tapahtuu kemiallinen reaktio. Tämä reaktio joko saostaa piidioksidia kiekkoon ja luo sähköreittejä tai poistaa jo olemassa olevaa piidioksidia jättäen vain sähköiset reitit.
Plasman etsaajan käyttämä plasma luodaan kuumentamalla joko happea tai fluoria sisältävä kaasu superkuumennuksella sen mukaan, poistetaanko tai kerätäänkö piidioksidia. Tämä saavutetaan luomalla ensin tyhjö etsaajaan ja muodostamalla suurtaajuinen sähkömagneettinen kenttä. Kun kaasu kulkee etsaajan läpi, sähkömagneettinen kenttä virittää kaasun atomit aiheuttaen sen ylikuumenemisen.
Kaasun ylikuumentuessa se hajoaa peruskomponenttiatomeiksi. Äärimmäinen kuumuus poistaa myös ulkoiset elektronit joistakin atomeista ja muuttaa ne ioneiksi. Siihen mennessä, kun kaasu poistuu plasmasyötöttimestä ja saavuttaa kiekon, se ei enää ole kaasu, vaan siitä on tullut hyvin ohut, ylikuumennettu ionisuihku, jota kutsutaan plasmaksi.
Jos plasmaa käytetään happea sisältävällä kaasulla, se reagoi kiekon piiden kanssa muodostaen piidioksidia, sähköä johtavaa materiaalia. Kun plasmasuihku kulkee kiekon pinnan yli tarkasti hallitulla tavalla, sen pinnalle muodostuu hyvin ohuen kalvon kaltainen piidioksidikerros. Kun etsausprosessi on valmis, piikiekossa on tarkka sarja piidioksidikappaleita. Nämä radat toimivat johtavina reitteinä integroidun piirin komponenttien välillä.
Plasmahartsit voivat myös poistaa materiaalin kiekkoista. Integroituja piirejä luotaessa on tapauksia, joissa tietty laite saattaa vaatia kiekon enemmän pinta -alaa piidioksidia. Tässä tapauksessa on nopeampaa ja taloudellisempaa laittaa jo materiaalilla päällystetty kiekko plasmaetteriin ja poistaa tarpeeton piidioksidi.
Tätä varten syövytin käyttää fluoripohjaista kaasua plasmansa luomiseen. Kun fluoriplasma joutuu kosketuksiin kiekon pinnoittavan piidioksidin kanssa, piidioksidi tuhoutuu kemiallisessa reaktiossa. Kun etsaaja on suorittanut työnsä, jäljelle jää vain integroidun piirin tarvitsemat piidioksidireitit.